所屬地區	浙江省	加入日期	2016年10月14日	截止時間	2016年10月20日

正文內容

 

一．采購人名稱：

浙江大學

二．采購項目名稱：

光學軟刻蝕裝置

三．采購項目編號：

CG201602222

四．原采購公告發布日期：

2016年10月13日

五．更正理由：

采購人要求

六．更正事項：

技術參數更正，更正后的技術參數如下：

 

設備名稱	數量	技術參數
光學軟刻蝕裝置（進口）（CG201602222）	1	1、曝光面積：200×200mm； 2、分辨力：≤3um； 3、對準精度：±2um； 4、掩模尺寸：3英寸、5英寸、7英寸、9英寸； 5、樣片尺寸：2英寸、4英寸、6英寸、8英寸； 6、wafer chuck表面：防止光反射涂層； 7、掩模樣片整體運動范圍：X：10mm，Y：10mm； 8、掩模相對于樣片運動行程：X：±5mm，Y：±5mm，q：±6°； 9、汞燈功率：1000W直流； 10、曝光能量密度：≥15mW/cm 2； 11、光源能量控制：光源恒功率（每日測量光強，微調recipe)； 12、曝光峰值波長：365nm； 13、曝光方式：定時（倒計時方式0.1s~9999.9s）； 14、光刻版夾具兼容性； 15、具有盲曝粗對準功能。 16、配置： 16.1、曝光頭系統：冷光橢球鏡，1000W直流高壓汞燈，XYZ汞燈調節臺，光學系統（冷光紫外平面反射鏡、快門、蠅眼透鏡組、冷光紫外拋物面反射鏡），冷卻風扇； 16.2、對準工件臺系統：掩模樣片相對運動臺，XY轉動臺，樣片調平機構，樣片調焦機構，承片臺3個（對應樣片），掩模夾3個（對應掩模）； 16.3、CCD對準顯微鏡系統：4倍顯微鏡2只，照明光源2套，CCD相機2只，22英寸液顯； 16.4、電控系統：汞燈觸發電源(1000W)，單片機控制系統，控制柜桌； 16.5、氣動系統系統：包括氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關，電磁閥驅動，氣動儀表等； 16.6、其他附件：真空泵1臺，空壓機1臺，配套氣管10~15m。

 

七．其他事項：

無

八．聯系方式

采購代理機構名稱： 杭州求是招標代理有限公司

地點：杭州市豐潭路380號城西銀泰城B座11樓1101

聯系人：王盼

聯系電話：0571-87953982

傳真： 0571-87666111